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用於LED製造的金屬有機物前軀體

2011-9-27

用於LED製造的金屬有機物前軀體

      在美國加州Santa Clara 於2011年2月22-24日召開的照明戰略(SL)會議上,SAFC Hitech公司的首席技術執行官Ravi Kanjolia曾提到了金屬有機物(MO)材料的供應問題以及化合物半導體製造商目前所採用的技術。在半導體矽器件製造中,化合物半導體製造商為了減少擁有成本(CoO)而採用的最佳手段便是實現生產自動化,它可以提高晶圓片之間的一致性,盡可能減少人工來操作或處理各種危險性材料,以及可以進行即時的線上檢測。關於前軀體材料的提純問題,他告訴與會者,已經有了專門的技術,例如已經發展了對加合物的提煉技術,以取得最終的雜質去除水準。

      在與SolidState Technology雜誌記者的的交談中,Kanjolia就應用於LED製造中的金屬有機物(MO)前軀體材料的供需問題進行了詳細的闡述。在金屬有機物化學氣相沉積MOCVD工藝中使用量最大的MO材料是三甲基鎵(TMG)。他說道:直到2009年,三甲基鎵(TMG)的需求量一直都能得到滿足,不過到了2010年時就產生了供不應求的問題。金屬有機物(MO)材料供應商通過提升它們的工藝及啟動工藝改進,估計將會在2011年末將其產能提升到令人滿意的水準。在2011年整個MO材料的供應可能將會呈現緊張,然後會有所緩解。他還說道,展望2012年或者以後,“我們在材料供應這個環節上將會看不到任何問題,因為幾乎每個供應商都宣佈其產能都將會增加。”

      同時Kanjolia也發現,前軀體材料的純度對提升下一代LED器件的每瓦功率產生的流明照度(Ls/W)起著關鍵性的作用。另一項努力就是通過改進前軀體輸送分配到工藝這一過程的本身來降低其擁有成本(CoO)。他提到:所採用的辦法是對金屬有機物(MO)材料採用大容量的輸送分配系統,這種大容量的分配儲存室儲存了大量的金屬有機物(比如三甲基鎵TMG)材料,然後將前軀體材料以液體狀態或者以蒸氣狀態輸送分配到工藝反應室中—這樣做得另一個優點是還能提高工藝的一致性,從而也提升了良品率。他還提到:這同時也大大地減少了健康和安全性的問題,因為這樣能減少操作人員暴露在金屬有機物有害環境中的機會。-D.V

      來源:半導體科技


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